NUCLEATION AND GROWTH-KINETICS OF GOLD-FILMS DEPOSITED ONTO ROCK SALT SINGLE-CRYSTAL (100) SURFACES BY RF SPUTTERING WITH HELIUM

被引：12
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作者：
HARSDORFF, M
JARK, W
机构：
[1] Univ Hamburg, Inst fuer Angewandte, Physik, Hamburg, West Ger, Univ Hamburg, Inst fuer Angewandte Physik, Hamburg, West Ger
来源：
THIN SOLID FILMS | 1985年 / 128卷 / 1-2期
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(85)90337-2
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
11
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页数：14
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