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EXAMINATION OF THE DAMAGE TO A GRAPHITE PROBE CAP EXPOSED TO RF HEATING IN PLT PLASMAS
被引：8
|作者：
MANOS, D
BENNETT, T
BUDNY, R
COHEN, S
KILPATRICK, S
TIMBERLAKE, J
机构：
来源：
关键词：
D O I：
10.1116/1.572407
中图分类号：
TB3 [工程材料学];
学科分类号：
0805 ;
080502 ;
摘要：
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页码：1348 / 1351
页数：4
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