DECAY OF AN INDUCTIVELY COUPLED ARGON PLASMA ABOVE THE LOAD-COIL

被引:9
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作者
HUANG, M [1 ]
LIU, KL [1 ]
机构
[1] CHINESE ACAD SCI,INST CHEM MET,BEIJING,PEOPLES R CHINA
关键词
D O I
10.1039/ja9860100153
中图分类号
O65 [分析化学];
学科分类号
070302 ; 081704 ;
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页数:4
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