DECOMPOSITION KINETICS OF A STATIC DIRECT-CURRENT SILANE GLOW-DISCHARGE

被引：118
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作者：
LONGEWAY, PA
ESTES, RD
WEAKLIEM, HA
机构：
来源：
JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY | 1984年 / 88卷 / 01期
关键词：
D O I：
10.1021/j150645a018
中图分类号：
O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];
学科分类号：
070304 ; 081704 ;
摘要：
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