SIMPLE-MODEL FOR ETCHING

被引：28
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作者：
BLONDER, GE
机构：
来源：
PHYSICAL REVIEW B | 1986年 / 33卷 / 09期
关键词：
D O I：
10.1103/PhysRevB.33.6157
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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页码：6157 / 6168
页数：12
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