SYNTHESIS OF A-15 NB3SI FILM BY CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引:26
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作者
KAWAMURA, H [1 ]
TACHIKAWA, K [1 ]
机构
[1] NATL RES INST MET,3-12 2 CHOME,MEGURO,TOKYO,JAPAN
关键词
D O I
10.1016/0375-9601(75)90396-5
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
引用
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页数:2
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