Liquid metal ion source-produced germanium ions for maskless ion implantation (vol 34, pg L11, 2001)

被引：0
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作者：
Ganetsos, T
Aidinis, C
Bischoff, L
Mair, GLR
Teichert, J
Panknin, D
Papadopoulos, I
机构：
来源：
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS | 2001年 / 34卷 / 05期
关键词：
D O I：
10.1088/0022-3727/34/5/502
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
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