Fe2O3/SnO2和SnO2/Fe2O3双层薄膜的XPS分析

被引：3

作者：

娄向东

沈荷生

沈瑜生

机构：

[1] 中国科学技术大学材料科学与工程系

来源：

传感技术学报 | 1992年 / 03期

关键词：

SnO2; Fe2O3; 薄膜; XPS;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

用X光光电子能谱（XPS）,结合Ar+刻蚀对Fe2O3/SnO2及Fe203/SnO2双层薄膜进行分析.结果表明:Fe2O3/SnO2膜表面,晶格氧的结合能为529.85eV,热处理前有大量吸附氧存在,在600℃退火后,大部分羟基、羰基形态的吸附氧解吸;SnO2/Fe2O3膜表面,热处理前后都只有少量的吸附氧,经热处理后表面吸附氧却略有增加.双层薄膜中锡向氧化铁层的扩散较铁向氧化锡层的扩散强.扩散的结果,形成了一个数十纳米的过渡层,对元件的气敏性质产生一定的影响.

引用

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