N、Zn离子注入GaAs1-xPx(x=0.39)的研究补充

被引:0
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作者
机构
[1] 中国科学院半导体所
[2] 北京师范大学低能所、物理系
[3] 北京有色所
关键词
GaAs; x=0.39; 离子注入; 离子掺杂; 发光强度; 光强; x; x)P_x; Zn;
D O I
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摘要
关于N、Zn离子注入GaAs1-xPx的阴极萤光及电特性的测量在正文中已经做了介绍。在这里我们再小结一下器件制造结果。 对于N注入GaAs1-xPx中的电致发光情况,我们做的工作不多。在这里只就最近所做二批器件的情况做一个小结。
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