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Sol-Gel法制备低阻In2O3薄膜
被引：14
|作者：
全宝富
刘凤敏
李爱武
陈丽华
机构：
[1] 吉林大学电子工程系!吉林长春
来源：
关键词：
sol-gel法;
In2O3薄膜;
气敏特性;
D O I：
暂无
中图分类号：
TB43 [薄膜技术];
学科分类号：
0805 ;
摘要：
采用sol gel法制备In2 O3薄膜材料 ,研究了不同制备条件对薄膜电阻的影响 ;分别用XPS、XRD方法对材料进行了分析 ,确定了其结构和组成 ,并用此薄膜材料制作了直热式气敏元件 ,发现它对乙醇、丁烷气体具有较高的灵敏度。
引用
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页码：407 / 409
页数：3
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