全柔性机构与MEMS

被引：79

作者：

于靖军

宗光华

毕树生

不详

机构：

[1] 北京航空航天大学机器人研究所!北京

[2] 北京航空航天大学机器人研究所!北京

来源：

光学精密工程 | 2001年 / 01期

关键词：

柔性机构; 全柔性机构; 柔性铰链; 微型机电系统;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH112 [机构学];

学科分类号：

摘要：

柔性机构是一种新型机构。首先描述了柔性机构和全柔性机构的概念及特点 ,论述了它们与MEMS之间的关系。然后详细介绍了全柔性机构在 MEMS领域内包括微装配、微操作等应用背景下的状况及前景。最后就对全柔性机构研究中的几个关键技术问题如机构的分析、设计及加工 ,柔性铰链的选择与设计 ,驱动器的选择及设计等进行了探讨。

引用

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