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The Reactive Sputterred Titanium Carbide/Niride and DLC Coatings
被引：0
|作者：
JGDeng Manuel Braun Royal Inst of Technol Phys DeptFrescativgan S StockholmSweden
[24
,104
,5
]
机构：
来源：
关键词：
DLC;
and;
Coatings;
Reactive;
Sputterred;
The;
Carbide/Niride;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN305.92 [溅射];
学科分类号：
摘要：
ＴｈｅＲｅａｃｔｉｖｅＳｐｕｔｅｒｒｅｄＴｉｔａｎｉｕｍＣａｒｂｉｄｅ／ＮｉｒｉｄｅａｎｄＤＬＣＣｏａｔｉｎｇｓＪ．Ｇ．ＤｅｎｇＭａｎｕｅｌＢｒａｕｎ（ＲｏｙａｌＩｎｓｔ．ｏｆＴｅｃｈｎｏｌ．，Ｐｈｙｓ．Ｄｅｐｔ．Ｆｒｅｓｃａｔｉｖ¨ａｇａｎ２４，Ｓ...
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页码：147 / 150
页数：4
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