磁控溅射制备Mn-Co-Ni-O热敏红外探测薄膜

被引：3
|
作者：
欧阳程
吴敬
周炜
高艳卿
侯云
黄志明
机构：
[1] 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室
来源：
红外与激光工程 | 2014年 / 43卷 / 04期
基金：
上海市自然科学基金;
关键词：
射频磁控溅射; Mn1.56Co0.96Ni0.48O4薄膜; 红外探测; NTC;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN215 [红外探测、红外探测器];
学科分类号：
摘要：
尖晶石Mn-Co-Ni-O三元氧化物具有优良的负温度系数(NTC),是一种制作热敏红外探测器较为理想的材料。采用射频磁控溅射法在非晶Al2O3衬底上制备了Mn1.56Co0.96Ni0.48O4(MCNO)多晶薄膜。使用能量色散X射线谱(EDS)对薄膜中金属元素组分进行了测量,分析得出薄膜中金属元素组分与靶材中的组分偏离在5%以内。对经过750℃空气中退火后的薄膜结构、电学和光学性质也进行了研究。实验结果表明:退火后薄膜具有单一立方尖晶石结构,且薄膜表面致密、均匀性好;薄膜的传导机制遵循小极子跃迁传导,在240～330K范围内符合VRH模型,其激活能和电阻温度系数(TCR)在室温下(300K)分别为0.297eV和-3.83%K-1;薄膜在紫外-可见波段具有较高的吸收率,间接带宽为0.61eV。
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页数：5
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