高精度STM.IPC-205BJ型原子力显微镜的设计

被引：4

作者：

彭光含 ^{[1
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杨学恒 ^{[2
]}

辛洪政 ^{[2
]}

刘济春 ^{[2
]}

李旭 ^{[2
]}

机构：

[1] 重庆大学自动化学院

[2] 重庆大学数理学院

来源：

机械工程学报 | 2007年 / 02期

关键词：

原子力显微镜; 镜体; 微悬臂; 硬件设计;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH742 [显微镜];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

在成功研制高精度IPC-205B型STM基础上对硬件设计和软件配备进行改进,研制开发了更高精度和应用更广的原子力显微镜。阐述该原子力显微镜的工作原理、组成及应用,详细介绍镜体的独特设计与控制过程、微悬臂的制作与工作过程。该样机采用简单适用的新型微悬臂,利用扫描隧道显微镜检测微悬臂的起伏,通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描,能够有效提高扫描精度、扩大扫描范围。该原子力显微镜的分辨力为:横向0．1nm,纵向0．01 nm。给出该机型检测的几种样品的扫描图像。

引用

页码：127 / 131

页数：5

共 6 条

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彭光含 ;

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