Erratum: selective wet etching of lattice-matched InGaAs/InAlAs on InP and metamorphic InGaAs/InAlAs on GaAs using succinic acid/hydrogen peroxide solution [J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3400 (1996)]

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作者
机构
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J Vac Sci Technol B | / 6卷 / 3603期
关键词
D O I
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