Study of organosilicon positive resist. I. Syntheses and characterization of silsesquioxane, siloxane, and silmethylene polymers with phenolic hydroxy groups

被引:0
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作者
机构
[1] Sugiyama, Hisashi
[2] Inoue, Takashi
[3] Nate, Kazuo
来源
Sugiyama, Hisashi | 1600年 / 44期
关键词
D O I
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共 1 条