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Micro-shape machining with a thin blade enhanced by a fine-particle noncontact-mode process (1st report) - fundamental characteristics and application to optical communication devices
被引：0
|作者：
Matsui, Shinsuke
Saito, Tadao
Watanabe, Junji
Ohira, Fumikazu
Koyabu, Kunio
Takeuchi, Yoshio
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D O I：
暂无
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