溶胶-凝胶法制备掺铋(Ba0.65Sr0.35)TiO3薄膜的结晶特性研究附视频

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作者
梁金娥
方瑜
肖定全
朱建国
机构
[1] 四川大学材料科学与工程学院
关键词
BST薄膜; 溶胶-凝胶法; 结晶性能;
D O I
暂无
中图分类号
TB383 [特种结构材料];
学科分类号
070205 ; 080501 ; 1406 ;
摘要
采用改进的溶胶-凝胶(sol-gel)工艺制备了掺Bi(Ba0.65Sr0.35)Ti O3(简称BSTBi)薄膜.XRD研究结果表明,BST系列薄膜具有单一钙钛矿结构;AFM测试结果表明BST薄膜表面平整致密,无裂纹.表面均方根粗糙度约为3~6.5nm,晶粒大小分布均匀,直径约为50~75nm.随着热处理温度的提高,BST薄膜的晶粒变大,表面粗糙度变大.
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