共 1 条
HIGH-SPEED ROTARY-MOTION FEEDTHROUGH SUITABLE FOR UHV APPLICATIONS
被引:6
作者:
ENGEL, T
[1
]
机构:
[1] IBM CORP,ZURICH RES LAB,CH-8803 RUSCHLIKON,SWITZERLAND
关键词:
D O I:
10.1063/1.1136555
中图分类号:
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号:
0804 ;
080401 ;
081102 ;
摘要:
引用
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