SURFACE-REACTIONS ON MOS STRUCTURES

被引：21

作者：

ALESSANDRINI, EI ^{[1
]}

CAMPBELL, DR ^{[1
]}

TU, KM ^{[1
]}

机构：

[1] IBM CORP, THOMAS J WATSON RES CTR, YORKTOWN HTS, NY 10598 USA

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1663149

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：4888 / 4893

页数：6

共 6 条

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