DETERMINATION OF THE PROFILE OF THE COMPLEX REFRACTIVE-INDEX OF ION-IMPLANTED LAYERS FROM ELLIPSOMETRIC MEASUREMENTS

被引:0
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作者
MARDEZHOV, AS
SERYAPIN, VG
LYUBINSKAYA, RI
SVITASHEV, KK
SMIRNOV, LS
SEMENENKO, AI
机构
来源
SOVIET PHYSICS SEMICONDUCTORS-USSR | 1979年 / 13卷 / 12期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O469 [凝聚态物理学];
学科分类号
070205 ;
摘要
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页码:1374 / 1378
页数:5
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