FORMATION OF SILICON-CARBIDE POWDERS BY THE VAPOR-PHASE REACTION OF THE SIH4-CH4-H2 SYSTEM

被引:6
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作者
OKABE, Y
HOJO, J
KATO, A
机构
关键词
D O I
10.1246/nikkashi.1980.188
中图分类号
O6 [化学];
学科分类号
0703 ;
摘要
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页码:188 / 193
页数:6
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