MOLECULAR STREAM EPITAXY AND THE ROLE OF THE BOUNDARY-LAYER IN CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引:5
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作者
KATSUYAMA, T
BEDAIR, SM
机构
关键词
D O I
10.1063/1.341155
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:5098 / 5103
页数:6
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