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SYNTHESIS OF MON AND RUN BY ACTIVE NITROGEN SPUTTERING
被引：10
|作者：
IHARA, H
[1
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TERADA, N
[1
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SENZAKI, K
[1
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HIRABAYASHI, M
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KIMURA, Y
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UZUKA, R
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KAWASHIMA, F
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AKIMOTO, M
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KEZUKA, H
[1
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机构：
[1] TOKYO ENGN UNIV,FAC ENGN,DEPT ELECTR,HACHIOJI,TOKYO 194,JAPAN
关键词：
D O I：
10.1109/TMAG.1987.1064969
中图分类号：
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ;
0809 ;
摘要：
引用
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页码：1011 / 1013
页数：3
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